一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具
基本信息
| 申请号 | CN201822046164.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209261999U | 公开（公告）日 | 2019-08-16 |
| 申请公布号 | CN209261999U | 申请公布日 | 2019-08-16 |
| 分类号 | F16B11/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 谢燕;刘勇;童严;时尧成;戴道锌 | 申请（专利权）人 | 苏州天步光电技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215500 江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区汇金三路东东南会1号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；水平调节模块放置在上盖上表面；C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。本实用新型一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，能有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性。 |
