一种单晶硅的生产方法和生产设备
基本信息
| 申请号 | CN201510638189.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106555224A | 公开（公告）日 | 2017-04-05 |
| 申请公布号 | CN106555224A | 申请公布日 | 2017-04-05 |
| 分类号 | C30B29/06(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 曹文兴;朱伟 | 申请（专利权）人 | 枣庄市天工新能源器材有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 277100 山东省枣庄市市中区清泉路30号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶硅的生产方法和生产设备。本发明以中频等离子炉、多晶硅铸锭炉、单晶炉为生产设备的单晶硅生产方法。中频等离子炉充分利用等离子炉和中频感应炉的优点、用氩气作为等离子体的工作气体达到真空冶炼。精炼提纯后的熔硅直接注入多晶硅铸锭炉。经过这一过程实现P、B、C、O、Fe、Al、Ca等杂质的脱杂，生产出原料多晶硅。再用通用设备单晶炉将原料多晶硅生产成最终产品单晶硅。本发明具有设备结构及工艺简短、低投入、低能耗、低成本、无污染、高质量、高收益、抗御风险能力强等特点。 |
