一种芯片显微拍摄系统
基本信息
| 申请号 | CN200820055357.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN201199283Y | 公开（公告）日 | 2009-02-25 |
| 申请公布号 | CN201199283Y | 申请公布日 | 2009-02-25 |
| 分类号 | G02B21/36(2006.01);G02B21/32(2006.01) | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 钟琪 | 申请（专利权）人 | 上海芯索芯片分析技术有限公司 |
| 代理机构 | 上海兆丰知识产权代理事务所 | 代理人 | 章蔚强 |
| 地址 | 200235上海市钦州路100号2楼608室、609室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片显微拍摄系统，包括一用于拍摄芯片的显微镜以及一与显微镜连接的电动台，还包括一加载于显微镜上的电荷耦合器件CCD以及一分别控制所述的电荷耦合器件CCD和所述电动台的计算机。本实用新型通过在现有的显微镜上加载电荷耦合器件CCD将采集的图像转为数字信号后传输给计算机进行处理，通过控制显微镜X轴、Y轴和Z轴对芯片进行实时采集及显示，并且根据需要进行保存，提高了芯片拍摄的精度并且有利于集成电路的分析。 |
