一种CVD背板清洁气体管路结构
基本信息
| 申请号 | CN202121219186.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214937794U | 公开（公告）日 | 2021-11-30 |
| 申请公布号 | CN214937794U | 申请公布日 | 2021-11-30 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C16/02（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 赵浩;穆熙 | 申请（专利权）人 | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴慧 |
| 地址 | 241000安徽省芜湖市长江大桥综合经济开发区泥埠路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种CVD背板清洁气体管路结构，包括背板、用于进气和出气的通孔Ⅰ、通孔Ⅱ和出气孔Ⅰ、出气孔Ⅱ，出气孔Ⅰ通过管路Ⅰ与通孔Ⅰ连通，出气孔Ⅱ通过管路Ⅱ与通孔Ⅱ连通。通孔Ⅰ和通孔Ⅱ在背板上沿对角线布置，出气孔Ⅰ和出气孔Ⅱ在背板上沿另一条对角线布置。背板连接在CVD机腔体的上部盖板上，清洁气体从通孔Ⅰ和通孔Ⅱ的一侧进入，一部分清洁气体从通孔Ⅰ和通孔Ⅱ的另一侧喷出进入气体扩散器，另一部分清洁气体分别经管路Ⅰ和管路Ⅱ从出气孔Ⅰ和出气孔Ⅱ喷出进入气体扩散器，扩散到整个腔室，对玻璃基板进行清洁。 |
