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一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置

基本信息

申请号	CN201920045431.8	申请日	-
公开（公告）号	CN209297040U	公开（公告）日	2019-08-23
申请公布号	CN209297040U	申请公布日	2019-08-23
分类号	G02B27/48（2006.01）I; G02B26/08（2006.01）I; G02B26/10（2006.01）I	分类	光学;
发明人	金传广; 杜先鹏; 郭俊兴; 代启强; 周印伟	申请（专利权）人	青岛小优智能科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	266100 山东省青岛市高新区松园路17号青岛市工业技术研究院A区A1楼3层305.307.309.311房间
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS微振镜技术的激光散斑消除装置，包括外壳和沿光路依次分布设置的半导体激光器、激光整形系统、双轴MEMS微振镜、反馈系统和驱动控制系统，半导体激光器产生的光束，通过激光整形系统整形后通过双轴MEMS微振镜对外进行投射。双轴MEMS微振镜消除激光散斑，结构简单，而且对激光光源的波长没有要求，任意波长的激光均可实现消散斑效果；双轴MEMS微振镜的X轴做扫描运动，获得所需模式的结构光，结构光模式不限；双轴MEMS微振镜的Y轴做镜面法线方向的上下幅度为波长量级的高频振动，振动频率高于X轴的频率，振动幅度为波长量级，不会对扫描光栅的分布造成影响，实现了获得高光束质量的方法，极大的提高扫描模组的建模精度。