一种快速同步扫描装置
基本信息
| 申请号 | CN201720932609.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207336469U | 公开（公告）日 | 2018-05-08 |
| 申请公布号 | CN207336469U | 申请公布日 | 2018-05-08 |
| 分类号 | G01N33/00 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 裘揆;张国方;李进春;黄威 | 申请（专利权）人 | 上海和伍精密仪器股份有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 200240 上海市闵行区剑川路953弄322号1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种快速同步扫描装置，包括支撑部件、第一运动机构、第二运动机构、检测部件和平衡机构，其中：所述第一运动机构与所述支撑部件连接，所述检测部件或检测样品与所述第一运动机构连接并随所述第一运动机构实现第一方向往复直线运动；所述第二运动机构与所述支撑部件连接，检测样品或检测部件与所述第二运动机构并随所述第二运动机构实现第二方向运动；本实用新型装置，摒弃了常规的技术思路即通过栅格扫描模式下的改进，而是第一方向运动和第二方向运动由不同的机构执行，结合同步扫描，可以合成预定的扫描轨迹，从而克服了制约整个行业进一步发展的技术难题。 |
