基于圆柱槽凸轮实现快速同步扫描的装置
基本信息
申请号 | CN201720932353.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN207198097U | 公开(公告)日 | 2018-04-06 |
申请公布号 | CN207198097U | 申请公布日 | 2018-04-06 |
分类号 | G01N29/06 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 张国方;李进春;裘揆;黄威 | 申请(专利权)人 | 上海和伍精密仪器股份有限公司 |
代理机构 | - | 代理人 | - |
地址 | 200240 上海市闵行区剑川路953弄322号1楼 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开一种基于圆柱槽凸轮实现快速同步扫描的装置,包括第一运动机构、第二运动机构、检测部件,其中:第一运动机构为圆柱槽凸轮机构,第一运动机构、第二运动机构连接并带动检测部件、检测样品其中一个实现第一方向的往复直线运动、第二方向运动;第一运动机构与第二运动机构结合同步扫描,合成预定的扫描轨迹。本实用新型能够实现快速同步扫描,既能保证良好的扫描效果,又能大大提高扫描速度。 |
