基于圆柱槽凸轮实现快速同步扫描的装置

基本信息

申请号 CN201720932353.4 申请日 -
公开(公告)号 CN207198097U 公开(公告)日 2018-04-06
申请公布号 CN207198097U 申请公布日 2018-04-06
分类号 G01N29/06 分类 测量;测试;
发明人 张国方;李进春;裘揆;黄威 申请(专利权)人 上海和伍精密仪器股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 200240 上海市闵行区剑川路953弄322号1楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种基于圆柱槽凸轮实现快速同步扫描的装置,包括第一运动机构、第二运动机构、检测部件,其中:第一运动机构为圆柱槽凸轮机构,第一运动机构、第二运动机构连接并带动检测部件、检测样品其中一个实现第一方向的往复直线运动、第二方向运动;第一运动机构与第二运动机构结合同步扫描,合成预定的扫描轨迹。本实用新型能够实现快速同步扫描,既能保证良好的扫描效果,又能大大提高扫描速度。