触控传感器用ITO导电薄膜及其制备方法和触控屏应用

基本信息

申请号 CN202111317287.7 申请日 -
公开(公告)号 CN113990555A 公开(公告)日 2022-01-28
申请公布号 CN113990555A 申请公布日 2022-01-28
分类号 H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;G06F3/041(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 华建军 申请(专利权)人 惠州市天誉科技有限公司
代理机构 广东创合知识产权代理有限公司 代理人 赵瑾
地址 516227广东省惠州市惠阳区镇隆镇甘陂村永华工业园H栋厂房一楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明属于触控传感器技术领域。一种触控传感器用ITO导电薄膜,包括基材层,还包括依次沉积于所述基材层表面的接着层、结晶过渡层、易结晶层和金属导电层;所述结晶过渡层为结晶态的第一ITO层,所述易结晶层为非结晶态的第二ITO层。本发明ITO导电薄膜韧性好,透光率高,电阻小,载流子迁移率高,导电性能好。