一种具有红外加热装置的阴极结构
基本信息
| 申请号 | CN201821746449.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208933464U | 公开（公告）日 | 2019-06-04 |
| 申请公布号 | CN208933464U | 申请公布日 | 2019-06-04 |
| 分类号 | C23C14/35（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 华建军; 湛克宇 | 申请（专利权）人 | 惠州市天誉科技有限公司 |
| 代理机构 | 惠州创联专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵瑾 |
| 地址 | 516227 广东省惠州市惠阳区镇隆镇甘陂村永华工业园H栋厂房一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种具有红外加热装置的阴极结构，包括靶台，所述靶台包括大体呈长方体的外壳、以及设置在所述外壳内的靶材，所述外壳上设有用于提升阴极温度的红外加热装置，所述红外加热装置包括座体和加热件，所述座体与所述外壳连接，所述加热件固设在所述座体内。本实用新型通过在阴极的靶台两侧设置红外加热装置，镀膜时，可提升阴极镀膜区（靶材四周）的温度，从而缩短阴极预溅射的时间，在不浪费靶材的前提下制备出高质量薄膜，实现了节约资源，降低实验成本，提高效率的目的。 |
