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一种可以对花篮顶齿上硅片整成等间距的支撑条

基本信息

申请号 CN202123319022.9 申请日 -
公开（公告）号 CN216980512U 公开（公告）日 2022-07-15
申请公布号 CN216980512U 申请公布日 2022-07-15
分类号 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;顾正亚 申请（专利权）人 罗博特科智能科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于硅片制造技术领域，具体的说是一种可以对花篮顶齿上硅片整成等间距的支撑条，包括固接在固定挡板上的支撑条本体，且所述支撑条本体远离于固定挡板的一侧活动连接有辅助支撑条；所述支撑条本体的顶端开设有间距相同的若干组一号限位槽，且所述支撑条本体远离于固定挡板的侧壁上固接有三组等间距布置的限位块；通过支撑条本体表面上开设的等间距布置的一号限位槽以及辅助支撑条表面上开设的等间距布置的二号限位槽，能够在将其固定在固定挡板上后，利用“V”型结构的一号限位槽或是二号限位槽对硅片进行精准定位，确保相邻硅片等间距布置在支撑条上，有利于避免由于硅片位置不定而影响后续硅片加工的问题发生。