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一种可以同时顶起两张二分之一硅片的快插式顶齿机构

基本信息

申请号 CN202123302166.3 申请日 -
公开（公告）号 CN216719918U 公开（公告）日 2022-06-10
申请公布号 CN216719918U 申请公布日 2022-06-10
分类号 H01L21/687（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;顾正亚 申请（专利权）人 罗博特科智能科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于工业非标设备领域，具体的说是一种可以同时顶起两张二分之一硅片的快插式顶齿机构，包括顶出固定板、安装孔、滑块安装槽和顶齿单元；所述顶出固定板上开设有滑块安装槽；所述顶出固定板上对应滑块安装槽开设有多个安装孔；所述顶出固定板上设有顶齿单元；所述顶齿单元包括对称固定槽、底座板和支撑架；所述顶出固定板上对称开设有对称固定槽；通过分隔轴使得每个硅片可以被限制在对应的空间内，然后在分隔轴之间的距离下，可以方便使用机械手进行抓取，同时对称的支撑架使得可以同时的顶出两片硅片，同时整体的装置轻便，方便通过丝杆螺母副进行精确的上下运动，从而可以配合机械手的上下料动作，实现高效率的上下硅片。