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一种可以同时吸两张二分之一硅片的快插式陶瓷大吸盘

基本信息

申请号 CN202123323312.0 申请日 -
公开（公告）号 CN216719914U 公开（公告）日 2022-06-10
申请公布号 CN216719914U 申请公布日 2022-06-10
分类号 H01L21/683（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;顾正亚 申请（专利权）人 罗博特科智能科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 215000江苏省苏州市工业园区唯亭港浪路3号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于陶瓷大吸盘技术领域，具体的说是一种可以同时吸两张二分之一硅片的快插式陶瓷大吸盘，包括吸盘本体和吸气组件；所述吸气组件设置在吸盘本体内部；所述吸气组件包括进气口、气道、出气孔和卡接槽；所述进气口开设在吸盘本体顶部内壁；所述气道设置在吸盘本体内部；所述进气口与气道内部连通；所述出气孔对称设置在吸盘本体两侧内壁；所述出气孔与气道连通；所述卡接槽对称设置在吸盘本体顶端两侧内壁；通过设置吸气组件，使得吸盘本体可以同时实现对两张二分之一硅片的吸附固定，从而提高吸盘本体吸附硅片的效率。