单晶炉除尘装置和系统
基本信息
| 申请号 | CN202021986652.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213624466U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213624466U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | C30B15/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 董升;李侨;徐战军;贺瑞环;卓珍珍 | 申请（专利权）人 | 腾冲隆基硅材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人 | 赵娟 |
| 地址 | 变更后权利人:678014 云南省保山市腾冲市腾越镇上绮罗社区栗树园小区114号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种单晶炉除尘装置和系统，装置包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，所述过滤罐包括第一排污口；所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。本实用新型可以实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。 |
