一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备
基本信息
| 申请号 | CN202023169566.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214152925U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214152925U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 上官泉元;邹开峰 | 申请（专利权）人 | 常州比太科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京集智东方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 吴倩 |
| 地址 | 213164江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池片镀膜和光注入的集成设备，包括一体依次设置的TCO镀膜腔及光注入退火腔，对应TCO镀膜腔及光注入退火腔的输送机构，以及设置在输送机构上的用于硅片承载的载板。本实用新型通过将TCO镀膜及光注入退火两道工序集成在一台设备中，降低了设备投入，电池制造成本随之降低；利用平躺式载板运输硅片以实现链式连续运行，工序整合程度提高，制程周期缩短，规避了硅片上下料的周转、设备维护等问题，人工成本降低，生产效率和产品良率提升；在印刷银线前先完成光注入退火，使银线固化条件容易优化达到最佳，由此解决了现有技术中光注入退火工序导致的银线与硅片粘结强度下降的问题。 |
