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一种太阳能电池片槽式工艺装置及喷淋清洗方法

基本信息

申请号 CN202011491049.3 申请日 -
公开（公告）号 CN112701185A 公开（公告）日 2021-04-23
申请公布号 CN112701185A 申请公布日 2021-04-23
分类号 H01L31/18;H01L21/67;H01L21/02 分类 基本电气元件;
发明人 上官泉元;黄立根;庄正军 申请（专利权）人 常州比太科技有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 吴倩
地址 213164 江苏省苏州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种太阳能电池片槽式工艺装置及喷淋清洗方法，包括按照工艺顺序排列的多个化学槽，以及设置在所述化学槽上方用于花篮提拉的提升臂，对应所述化学槽还设置有至少一根喷淋管，所述喷淋管上至少开设有一排对应花篮的喷水孔，以用于在所述提升臂提起所述花篮的同时对花篮内的硅片用纯水进行喷淋清洗。本发明在化学槽内经过清洗的硅片随花篮被提起时，打开上述的喷淋管形成喷淋区，花篮在由下往上被提起时经过该喷淋区，喷淋管喷淋出的纯水对花篮及硅片的各个位置进行清洗，以达到更加全面的清洗效果，喷淋后花篮及硅片表面上的化学残液浓度可以降低90％左右，减少了下一步清洗后废水排放或需处理的化学药液浓度。