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一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备

基本信息

申请号 CN202020541613.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212161839U 公开（公告）日 2020-12-15
申请公布号 CN212161839U 申请公布日 2020-12-15
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 上官泉元;刘宁杰 申请（专利权）人 常州比太科技有限公司
代理机构 北京集智东方知识产权代理有限公司 代理人 常州比太科技有限公司
地址 213164江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备，包括依次设置的上料输送线、上料台、装载腔、至少两个线性并列设置的烘箱、下料台、下料输送线及载板回流机构；所述上料输送线对应所述上料台的进料端，所述上料台的出料端对应所述装载腔的进料端；所述下料台的进料端对应最后一个所述箱体出料端的出料端，所述下料台的出料端对应所述下料输送线。该实用新型利用自动化上下料及在线输送并通过硅片平躺式双面同时加热实现均匀快速烘干固化，并可实现载板的回流重复使用；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而无需大量吹气，有效减少了吹气能耗；且线性上下料具有高产能、占地少的优点。