基于高折射率差超结构的光学传感器及制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202210472763.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114689543A | 公开（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申请公布号 | CN114689543A | 申请公布日 | 2022-07-01 |
| 分类号 | G01N21/41（2006.01）I;G01N21/59（2006.01）I;G01N21/25（2006.01）I;G02B5/18（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 房文敬;毕丽平;范鑫烨;牛慧娟;白成林;张霞;杨立山 | 申请（专利权）人 | 聊城大学 |
| 代理机构 | 深圳叁众知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 252000山东省聊城市东昌府区湖南路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种基于高折射率差超结构的光学传感器及制作方法，涉及光学传感技术领域，具体属于一种基于高折射率差超结构的光学传感器及制作方法。包括介质基底和超结构，超结构为全介质材料构成的光栅单元，所述的光栅单元在介质基底上等间距分布，并在X方向周期性排列。本发明采用高折射率的全介质材料，能够避免金属材料引起的欧姆损耗，在实现高灵敏度的同时，还能将检测波长范围扩展至近红外波段。 |
