一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置
基本信息
| 申请号 | CN201911103516.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110595352A | 公开（公告）日 | 2019-12-20 |
| 申请公布号 | CN110595352A | 申请公布日 | 2019-12-20 |
| 分类号 | G01B9/02（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 朱秋东; 苑静; 张喆民; 王姗姗; 刘彬; 王伟志 | 申请（专利权）人 | 北京奥博泰测控技术有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 102400北京市房山区弘安路85号2号楼4层420室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种短相干泰曼干涉的色散补偿方法及测量装置。色散补偿方法为在短相干泰曼干涉仪中设置可旋转的细调补偿板和可更换的粗调补偿板，通过旋转细调补偿板改变其法线方向与所在光路光轴的夹角大小和更换不同厚度的粗调补偿板，实现参考光和测试光之间各波长光程差为零，进行色散补偿。本发明操作方便，可实现连续可调测量不同厚度透明平板样品的透射波像差。 |
