一种霍尔离子源
基本信息
| 申请号 | CN201921703112.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211227315U | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN211227315U | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 刘慧超 | 申请（专利权）人 | 东莞东阳光高能医疗设备有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 523808广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区光大We谷A1栋1318号房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于离子源技术领域，公开一种霍尔离子源，包括反应室，所述反应室包括第一反应室、第二反应室、第三反应室，所述第二反应室分别与所述第一反应室、第三反应室相连；所述第一反应室包括磁钢模块，所述磁钢模块包括多块同轴设置的磁钢元件；所述第二反应室包括阳极模块；所述第三反应室包括阴极元件；所述磁钢模块、所述阳极模块、所述阴极元件相对设置。本实用新型提供的一种霍尔离子源，磁钢组件设置为可叠加的结构，可以通过增减磁钢元件的个数实现调节磁场大小。 |
