防离子溅射的微型潘宁离子源
基本信息
| 申请号 | CN201620489033.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205789863U | 公开（公告）日 | 2016-12-07 |
| 申请公布号 | CN205789863U | 申请公布日 | 2016-12-07 |
| 分类号 | H01J27/04(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 汪永安;陆杰;白超良;刘洋 | 申请（专利权）人 | 西安冠能中子探测技术有限公司 |
| 代理机构 | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人 | 杨引雪 |
| 地址 | 710123 陕西省西安市长安区西京路一号西京学院内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种防离子溅射的微型潘宁离子源，阴极的形状为圆形台阶状，所述绝缘陶瓷环包含外陶瓷环和内陶瓷环，外陶瓷环包括一个水平圆环，沿水平圆环外沿上表面设置有筒状陶瓷环，沿水平圆环内沿下表面设置有筒状陶瓷环；内陶瓷环为筒状陶瓷环垂直设置在外陶瓷环水平圆环的上表面处，内陶瓷环的外侧与外陶瓷环的内侧有间距，外陶瓷环和内陶瓷环为一体结构。本实用新型绝不会存在因离子溅射而使阴阳极之间发生短路现象。 |
