一种用于硅片的翻面机构
基本信息
| 申请号 | CN201820881145.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208433395U | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN208433395U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | H01L21/687;H01L21/677;H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李思泉;陈海国;肖俊琳;钟雄雄;尹小玲;李伟强;郑楷熠 | 申请（专利权）人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种用于硅片的翻面机构，包括硅片翻面装置和硅片横移装置，硅片翻面装置包括第一安装板、第一连接板、第二连接板、第一固定板、第二固定班、主动轴、联轴器、第一驱动装置和底板，硅片横移装置包括连接块、滑块、滑轨和第二驱动装置；第一安装板具有第一端部和第二端部，第一端部上设有多个支撑件，支撑件用于放置硅片；第二端部分别与第一连接板和第二连接板连接，主动轴依次贯穿第一固定板、第一连接板、第二连接板和第二固定板；联轴器用于连接第一驱动装置和主动轴；底板设有第一面和第二面，第一固定板、第二固定板分别与第一面连接；连接块分别与第二驱动装置，滑块和第二面连接，滑块与滑轨活动连接。 |
