一种硅片生产流水线
基本信息
| 申请号 | CN201810569965.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110571164A | 公开（公告）日 | 2019-12-13 |
| 申请公布号 | CN110571164A | 申请公布日 | 2019-12-13 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）; H01L21/677（2006.01） | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李思泉; 陈海国; 肖俊琳; 钟雄雄; 尹小玲; 李伟强; 郑楷熠 | 申请（专利权）人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提出一种硅片生产流水线，包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。 |
