一种硅片洒粉装置
基本信息

| 申请号 | CN201820880127.0 | 申请日 | - |
| 公开(公告)号 | CN208661623U | 公开(公告)日 | 2019-03-29 |
| 申请公布号 | CN208661623U | 申请公布日 | 2019-03-29 |
| 分类号 | B05C19/04(2006.01)I; B05C19/06(2006.01)I; B05C13/02(2006.01)I | 分类 | 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕; |
| 发明人 | 李思泉; 陈海国; 肖俊琳; 钟雄雄; 尹小玲; 李伟强; 郑楷熠 | 申请(专利权)人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要

| 摘要 | 本实用新型提出一种硅片洒粉装置,包括漏斗,漏斗挡板,筛网、硅片固定座、滑动装置、驱动装置和定位装置,所述滑动装置包括滑轨与滑块,所述滑轨与所述滑块卡合连接,所述滑块包括第一滑块和第二滑块,所述第一滑块上设有支撑块,所述支撑块与所述漏斗挡板连接,所述第二滑块与所述筛网连接,所述漏斗设在所述漏斗挡板上;所述驱动装置还包括第一电机和第二电机,所述第一电机与所述漏斗挡板连接,所述第一电机带动所述漏斗挡板沿所述滑轨做往复运动,所述第二电机与所述筛网连接,所述第二电机带动所述筛网沿所述滑轨做往复运动;所述硅片固定座位于所述筛网的正下方,所述硅片固定座用于放置硅片,所述定位装置用于限定硅片的位置。 |





