一种硅片缓存装置
基本信息
| 申请号 | CN201820866937.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208433391U | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN208433391U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | H01L21/677;H01L31/18;H01L21/683 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李思泉;陈海国;肖俊琳;钟雄雄;尹小玲;李伟强;郑楷熠 | 申请（专利权）人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种硅片缓存装置，所述硅片缓存装置包括：支撑台、第一存储架及第二存储架；所述支撑台包括：底板及安装板；所述安装板与所述底板相互垂直，所述底板和所述安装板一体成型，所述第一存储架和所述第二存储架均垂直固定安装在所述安装板上，所述第一存储架、所述第二存储架和所述底板相互平行，所述第一存储架上设有贯穿所述第一储存架的上凹槽，所述第二存储架上设有贯穿所述第二存储架的下凹槽，所述上凹槽与所述下凹槽位于同一直线上；本实用新型提出的一种硅片缓存装置，具有自动双向缓存硅片和自动双向去缓存的功能，采用自动化设计，降低了人工成本，提高了工作效率。 |
