一种硅片花篮翻转装置
基本信息
| 申请号 | CN201820867208.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208433392U | 公开（公告）日 | 2019-01-25 |
| 申请公布号 | CN208433392U | 申请公布日 | 2019-01-25 |
| 分类号 | H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李思泉;陈海国;肖俊琳;钟雄雄;尹小玲;李伟强;郑楷熠 | 申请（专利权）人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 深圳市旭控科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华区龙华街道办事处富康社区和恒兴科技园C栋一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提出一种硅片花篮翻转装置，包括花篮、传送机构和翻转机构，所述传送机构包括支撑部、第一主动轴组件和第二主动轴组件；所述翻转机构能够带动所述传送机构90度翻转；所述支撑部包括背板，顶板和底板，所述背板分别与所述顶板和所述顶板连接，所述顶板上连接有花篮固定块，所述花篮固定块用于所述花篮的定位。 |
