一种温度可控的靶材加工加热装置

基本信息

申请号 CN202121286608.7 申请日 -
公开(公告)号 CN215515688U 公开(公告)日 2022-01-14
申请公布号 CN215515688U 申请公布日 2022-01-14
分类号 B65G47/82(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 林农 申请(专利权)人 江苏维德新材料有限公司
代理机构 连云港乐诚专利代理事务所(特殊普通合伙) 代理人 张丽
地址 222000江苏省连云港市海州区海州经济开发区朐凤路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种温度可控的靶材加工加热装置,包括支撑机构、运送机构、夹持机构与输出机构,所述支撑机构的顶部设置有运送机构,所述支撑机构的外表面设置有夹持机构,所述支撑机构的顶部设置有输出机构,所述夹持机构包括旋转箱,所述旋转箱的内壁设置有第一电动推杆,所述第一电动推杆的右侧设置有活动杆,所述活动杆的前后两侧均设置有连接杆,第一电动推杆的右侧设置有数量为两个的滑套,两个所述连接杆的右侧均设置有支杆,两个所述支杆的右侧均设置有夹块,所述支撑机构包括箱体。该温度可控的靶材加工加热装置,通过连接杆的外表面设置有滑套,能够使连接杆带动夹块作相对运动,从而能够对靶材进行夹持。