一种金属有机物化学气相沉积设备的多区加热装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种金属有机物化学气相沉积设备的多区加热装置

基本信息

申请号	CN201020284745.2	申请日	-
公开（公告）号	CN202116645U	公开（公告）日	2012-01-18
申请公布号	CN202116645U	申请公布日	2012-01-18
分类号	C23C16/448(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	李刚;常依斌;王小举	申请（专利权）人	上海蓝宝光电材料有限公司
代理机构	深圳市顺天达专利商标代理有限公司	代理人	上海蓝宝光电材料有限公司
地址	201616 上海市松江区文俊路2号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开一种金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备的多区加热装置，该多区加热装置主要包括石墨载盘(1)、载盘内支撑(2)、载盘外支撑(3)、载盘侧支撑(4)、加热器(5)、加热器连接块(6)、水冷电极(7)、腔体底板(8)。为了实现MOCVD设备大面积加热，将MOCVD的加热器(5)和石墨载盘(7)由几个扇形区域组成，每个扇形区域均独立加热和控制，这就大大降低了控制难度。另外每个石墨载盘的载盘内支撑(2)、载盘外支撑(3)、载盘侧支撑(4)除了起到载盘的安装支撑外，还封闭了该石墨载盘对应的加热器周边区域，使加热器的热量不容易在周向损失，也减少了对载盘外支撑(3)外部反应腔壁的热量辐射，从而降低了水冷需求。