一种一体化混料设备
基本信息
| 申请号 | CN202023159460.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214287761U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214287761U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | B01F7/18（2006.01）I;B01F15/02（2006.01）I;B01F15/00（2006.01）I | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 贾亚军;孙炳良;刘素华;於婷 | 申请（专利权）人 | 芯越微电子材料（嘉兴）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 314200浙江省嘉兴市平湖市钟埭街道新明路901号3号楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种一体化混料设备，包括设备主体；所述设备主体包括混配釜、气动搅拌泵、气动搅拌泵进气阀门、进气阀门、油水分离器、气动送料泵进气阀门、气动送料泵、进料口阀门、混配釜出料阀门、混配釜进料阀门、出料口阀门、过滤器；本实用新型开发了一种可封闭式作业，以及封闭式内部循环过滤的设备，使用本一体化混料设备生产出的产品具体灰分低，水含量可控的优点，能满足半导体对于微电子产品的苛刻要求。 |
