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一种平面等厚介质折射率的校准装置及校准方法

基本信息

申请号 CN202111071946.3 申请日 -
公开（公告）号 CN113514425B 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN113514425B 申请公布日 2021-12-14
分类号 G01N21/41（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 苏州高视半导体技术有限公司
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 代理人 贺杰
地址 215000江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请实施例公开了一种平面等厚介质折射率的校准装置及校准方法，该校准装置包括光谱共焦传感器光谱仪及调距机构，其中，所述光谱共焦传感器包括白光点光源、半透半反射镜及色散物镜；所述半透半反射镜和色散物镜在白光点光源和被测介质之间沿光轴依次设置，所述半透半反射镜靠近白光点光源，所述色散物镜靠近被测介质侧；根据检测得到的6个不同波长中的中间4个波长折射率计算出被测介质的折射率曲线，随后使用两端波长折射率进行校准。根据本发明，其能够通过对复消色差特性公式中波长项系数进行修正来提高预测折射率曲线的精度，进而得到被测样品准确的折射率公式，同时得到该样品准确的折射率曲线。