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一种平面等厚介质折射率的测量装置及测量方法

基本信息

申请号 CN202111071911.X 申请日 -
公开（公告）号 CN113514424B 公开（公告）日 2021-12-14
申请公布号 CN113514424B 申请公布日 2021-12-14
分类号 G01N21/41（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 不公告发明人 申请（专利权）人 苏州高视半导体技术有限公司
代理机构 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 代理人 贺杰
地址 215000江苏省苏州市高新区嘉陵江路198号11幢9层903室、904室
法律状态 -

摘要

摘要 本申请的实施例公开了一种平面等厚介质折射率的测量装置及测量方法，测量装置包括光谱共焦传感器、光谱仪及调距机构，所述光谱共焦传感器包括白光点光源、半透半反射镜及色散物镜；所述半透半反射镜和色散物镜在白光点光源和被测介质之间沿光轴依次设置；所述调距机构驱使所述光谱共焦传感器与被测介质两者彼此靠近或远离以使得所述色散物镜与被测介质的距离沿着光轴变化3次；所述光谱仪与所述半透半反射镜的反射面相对，用于检测在被测介质上聚焦并反射回的上下两个表面的波长；根据检测得到的4个不同波长计算出被测介质的折射率曲线。根据本发明，其具有检测效率高、误差小的优点。