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一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机

基本信息

申请号 CN201020262202.0 申请日 -
公开（公告）号 CN201728580U 公开（公告）日 2011-02-02
申请公布号 CN201728580U 申请公布日 2011-02-02
分类号 B24B37/04(2006.01)I;B24B57/04(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 张继昌;段有志 申请（专利权）人 大庆佳昌科技有限公司
代理机构 大庆知文知识产权代理有限公司 代理人 大庆佳昌科技有限公司;大庆佳昌晶能信息材料有限公司
地址 163316 黑龙江省大庆市高新技术开发区产业三区
法律状态 -

摘要

摘要 一种具有较高抗腐蚀性的晶片研磨机。主要解决现有技术中的研磨机中的研磨粉添加结构容易被腐蚀的问题。其特征在于：晶片研磨机还包括一个“L”形研磨粉导入管、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨粉导入管固定架；研磨粉注入槽架固定于研磨盘的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入研磨盘上的研磨粉输入端；研磨粉导入管固定架固定在所述汽缸提升杆上，“L”形研磨粉导入管固定于研磨粉导入管固定架的侧壁，固定后的“L”形研磨粉导入管的输出管口垂直位于研磨粉注入槽架中的注入槽上方，所述“L”形研磨粉导入管的另一端经软管连接至研磨粉定量泵的输出端。如此改进后，具有较好的抗腐蚀性。