籽晶杆

基本信息

申请号 CN02285894.6 申请日 -
公开(公告)号 CN2578343Y 公开(公告)日 2003-10-08
申请公布号 CN2578343Y 申请公布日 2003-10-08
分类号 C30B15/32 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 王永鸿 申请(专利权)人 大庆佳昌科技有限公司
代理机构 北京元中知识产权代理有限责任公司 代理人 王明霞
地址 100074北京市丰台区云岗南区13楼1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种籽晶杆,用于拉制半导体晶体时夹持籽晶。其包括一杆体,在所述杆体的上端设有与设备连接的连接结构,其特点为:所述杆体具有一纵向贯通的空腔,且位于所述杆体的下端的空腔二相对于其上方的空腔一呈收缩状。解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。