籽晶杆
基本信息
申请号 | CN02285894.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN2578343Y | 公开(公告)日 | 2003-10-08 |
申请公布号 | CN2578343Y | 申请公布日 | 2003-10-08 |
分类号 | C30B15/32 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 王永鸿 | 申请(专利权)人 | 大庆佳昌科技有限公司 |
代理机构 | 北京元中知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王明霞 |
地址 | 100074北京市丰台区云岗南区13楼1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种籽晶杆,用于拉制半导体晶体时夹持籽晶。其包括一杆体,在所述杆体的上端设有与设备连接的连接结构,其特点为:所述杆体具有一纵向贯通的空腔,且位于所述杆体的下端的空腔二相对于其上方的空腔一呈收缩状。解决了现有籽晶杆装置结构复杂、不易于安装的问题,同时克服了现有技术中籽晶固定不牢固的问题,以及籽晶用定位销固定,出炉后不易取下籽晶的问题,同时防止了籽晶杆在晶体生长过程中摆动对晶体生长质量的影响。 |
