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一种可减少调压次数的晶片研磨机

基本信息

申请号 CN201020262223.2 申请日 -
公开（公告）号 CN201728583U 公开（公告）日 2011-02-02
申请公布号 CN201728583U 申请公布日 2011-02-02
分类号 B24B37/04(2006.01)I;B24B57/04(2006.01)I 分类 磨削；抛光;
发明人 张继昌;段有志 申请（专利权）人 大庆佳昌科技有限公司
代理机构 大庆知文知识产权代理有限公司 代理人 大庆佳昌科技有限公司;大庆佳昌晶能信息材料有限公司
地址 163316 黑龙江省大庆市高新技术开发区产业三区
法律状态 -

摘要

摘要 一种可减少调压次数的晶片研磨机。主要解决现有技术中的研磨机每次研磨都需要进行2次调压，导致能源消耗较大的问题。其特征在于：汽缸提升杆的底端连接有一个定位托盘；晶片研磨机还包括一个提升架、一个研磨粉注入槽架以及一个研磨盘，研磨粉注入槽架固定于研磨盘的上部，由研磨粉注入槽架引出的研磨粉注入管接入所述研磨盘上的研磨粉输入端；提升架的上端开有一个“U”形口，并在此“U”形口的开口处连接有一个限位销，汽缸提升杆中位于定位托盘以上的杆体插入“U”形口内，形成滑动连接；提升架的底端与研磨盘之间为固定连接。该种晶片研磨机能够在每次磨制时减少掉一次调压过程，在一定程度上节约了能源，降低了晶片的生产成本。