软基材双面镀膜装置

基本信息

申请号 CN201310722396.6 申请日 -
公开(公告)号 CN103741121A 公开(公告)日 2014-04-23
申请公布号 CN103741121A 申请公布日 2014-04-23
分类号 C23C16/513(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 陈立国;李海燕;吕旭东;张受业;陈伟岸;贺艳;赵萌;朱惠钦 申请(专利权)人 北京北印东源新材料科技有限公司
代理机构 北京庆峰财智知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京北印东源新材料科技有限公司
地址 101407 北京市怀柔区雁栖经济开发区雁栖东二路8号1幢1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种软基材双面镀膜装置。该软基材双面镀膜装置包括:预处理室,待镀膜软基材设置在预处理室内;镀膜室,设置在预处理室的出料口,镀膜室内设置有放电电极对,放电电极对包括第一放电电极和第二放电电极,待镀膜软基材穿设在第一放电电极和第二放电电极之间,并由第一放电电极和第二放电电极进行双面镀膜;收料室,设置在镀膜室的出料口,并收集镀膜后的软基材。根据本发明的软基材双面镀膜装置,能够实现软基材的双面镀膜,防止软基材表面薄膜出现表面摩擦、局部脱落、表面裂纹等问题,保证整体薄膜的阻隔性。