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一种磁悬浮轴承结构及磁悬浮分子泵

基本信息

申请号 CN202110635199.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113266583A 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN113266583A 申请公布日 2021-08-17
分类号 F04D19/04（2006.01）I;F04D29/058（2006.01）I;F04D27/00（2006.01）I 分类 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵;
发明人 邹蒙;李赏;李兵 申请（专利权）人 苏州中科科仪技术发展有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 胡炳旭
地址 215163江苏省苏州市高新区昆仑山路189号3号厂房一楼
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及真空设备技术领域，具体涉及一种磁悬浮轴承结构，包括主轴；检测机构，具有两个检测元件，两个所述检测元件分别设于所述主轴的两端，其中一个所述检测元件用于检测所述主轴顶部轴心径向位置变化值，另一个所述检测元件用于检测所述主轴底部轴心径向位置变化值和所述主轴轴向位置变化值。因此可以通过在主轴上设置两个检测元件即可以实现检测主轴的五个自由度。相比于现有技术中，在主轴上设置三个检测元件，即在主轴的顶部、中部，以及底部；该磁悬浮轴承结构将检测元件设置在主轴的两端，减少了中部位移传感器的设置，从而减小了主轴轴向方向的长度，进而降低了磁悬浮分子泵的高度，即降低了磁悬浮分子泵的体积。