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一种滤芯、转接结构及其真空系统

基本信息

申请号 CN202022857707.8 申请日 -
公开（公告）号 CN214251416U 公开（公告）日 2021-09-21
申请公布号 CN214251416U 申请公布日 2021-09-21
分类号 G01M3/20（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘清清;王鹏兵;焦思愷 申请（专利权）人 苏州中科科仪技术发展有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 于妙卓
地址 215163江苏省苏州市高新区昆仑山路189号3号厂房一楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及氦质谱检漏仪技术领域，具体涉及一种滤芯、转接结构及其真空系统。本实用新型的滤芯适于安装在转接结构上，包括第一件和第二件，所述第一件和\或所述第二件上设置有连接部，所述连接部与所述转接结构连接；所述第一件和\或所述第二件上设置贴合部，所述贴合部与所述转接结构上的第一通气孔的内壁相贴合，以防杂质经第一通气孔流入；所述第一件上设有第二通气孔，所述第二件与所述第一件连接以封堵所述第二通气孔。通过第一件和第二件，扩大了本实用新型的滤芯与被检漏空间或系统的杂质的接触面积，过滤效果好，防止被检系统杂质会直接进入检漏仪真空系统，进而影响检漏仪灵敏度，引发检漏仪故障。