一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202110574655.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113295411A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113295411A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | G01M13/04（2019.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘宏伟;乔伟军;顾艳庆 | 申请（专利权）人 | 苏州中科科仪技术发展有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡晓静 |
| 地址 | 215163江苏省苏州市高新区昆仑山路189号3号厂房一楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供的一种分子泵磁轴承检测装置及检测方法，该装置包括：磁轴承驱动单元、驱动与信号选择通道及综合测量单元，其中，磁轴承驱动单元与分子泵磁轴承的进线端连接，用于将驱动信号输送至分子泵磁轴承，以建立电磁力；驱动与信号选择通道用于接收外部控制信号，并根据外部控制信号切换分子泵磁轴承检测通道；综合测量单元与分子泵磁轴承的出线端连接，用于测量分子泵磁轴承电感值，以利用电感值对分子泵电磁力均衡性进行分析。通过实施本发明，为磁悬浮分子泵产品质量提供数据评价的基础和标准，保证了磁悬浮分子泵处于安全、可靠、稳定的运行状态是非常重要的。 |
