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甩干机清洗装置

基本信息

申请号 CN202023093457.1 申请日 -
公开（公告）号 CN213781996U 公开（公告）日 2021-07-23
申请公布号 CN213781996U 申请公布日 2021-07-23
分类号 H01L21/67（2006.01）I;B08B3/02（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 郑东;肖迪 申请（专利权）人 青岛华芯晶电科技有限公司
代理机构 青岛发思特专利商标代理有限公司 代理人 赵伟敏
地址 266000山东省青岛市高新区河东路383号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型属于半导体晶片加工技术领域，涉及甩干机清洗装置。该装置包括甩干机机体，甩干机机体内部设置有向上开口的甩干腔，甩干腔的内部设置有转筒，甩干腔底部设有与外界连通的排污口，所述甩干机机体顶部设置有顶梁，甩干机机体底部设置有电机，电机的输出端连接有驱动轴，驱动轴从下至上贯通甩干腔，驱动轴顶部与顶梁中心转动连接；驱动轴与转筒的底部相固接；甩干腔内设置有水管，水管沿驱动轴侧壁由上至下延伸入转筒中，水管另一端连接有水箱，水管与水箱之间设置电磁阀。该清洗装置，借助顶梁，将驱动轴的上下两端用轴承座支撑，当驱动轴和转筒旋转时，整体动态平衡，不易发生偏斜，提高清洗和甩干效果，提高设备的使用寿命。