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一种晶圆平整度自动测量装置

基本信息

申请号	CN201921425358.3	申请日	-
公开（公告）号	CN210375082U	公开（公告）日	2020-04-21
申请公布号	CN210375082U	申请公布日	2020-04-21
分类号	G01B21/30	分类	测量；测试;
发明人	肖迪;王鑫	申请（专利权）人	青岛华芯晶电科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	266000 山东省青岛市高新区河东路383号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种晶圆平整度自动测量装置，包括箱体和滚珠，所述箱体的内部固定有转动座，所述转动座的顶部开设有转动槽，所述转动槽的内部转动连接有转动块，其中，所述转动座靠近转动块的一侧开设有滚珠槽。该晶圆平整度自动测量装置，设置有测量探针和传动电机，将晶圆放置在放置槽的内部，电机带动丝杆转动，丝杆通过外螺纹带动滑块在滑槽内向下移动，使滑块带动检测头向下移动，检测头带动测量探针抵住晶圆，之后启动传动电机，传动电机带动第二齿轮转动，第二齿轮通过啮合带动第一齿轮转动，第一齿轮带动转动柱转动，转动柱通过安装座带动放置座转动，使放置座带动晶圆转动，通过检测测量探针的跳动范围，便于对晶圆的平整度进行检测。