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一种砷化镓晶片片盒清洗装置

基本信息

申请号 CN202022773105.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213915368U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213915368U 申请公布日 2021-08-10
分类号 B08B9/36（2006.01）I;B08B9/34（2006.01）I;B08B9/32（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I 分类 清洁;
发明人 彭怀忠;樊海强;曲元瑗;王鼎 申请（专利权）人 忻州中科晶电信息材料有限公司
代理机构 太原达引擎专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市开发区（纬二街南,云中路西侧）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型具体涉及一种砷化镓晶片片盒清洗装置，属于晶片片盒清洗技术领域，所要解决的问题是提供一种省力省时的砷化镓晶片片盒清洗装置，采用的方案为：清洗桶与多个控干桶呈环形均匀排列，控干桶外部设置有鼓风机，鼓风机与多个控干桶通过进气管连通，支撑轴设置于清洗桶与多个控干桶围合而成的环形中心，支撑轴可相对清洗桶自转和升降，支撑轴上端连接有多个连接杆，连接杆数量与清洗桶、控干桶的数量之和一致，连接杆上均固定有片盒夹，片盒夹用于夹持片盒，清洗桶内设置有用于清洗片盒内部的片盒洗刷件；本实用新型使用方便，省工省时。