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一种砷化镓衬底专用清洗装置

基本信息

申请号 CN202022773081.2 申请日 -
公开（公告）号 CN213483720U 公开（公告）日 2021-06-18
申请公布号 CN213483720U 申请公布日 2021-06-18
分类号 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 彭怀忠;樊海强;曲元瑗;王鼎 申请（专利权）人 忻州中科晶电信息材料有限公司
代理机构 太原达引擎专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 朱世婷
地址 030000山西省忻州市开发区（纬二街南,云中路西侧）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型具体涉及一种砷化镓衬底专用清洗装置，属于砷化镓衬底清洗技术领域，所要解决的问题是提供一种快速的砷化镓衬底专用清洗装置，采用的方案为：酸洗槽、碱洗槽、清水槽和干燥槽由左向右依次设置，横梁架设于槽体上方，横梁上连接有可沿横梁左右往复移动的横移架，横移架上设置有横移驱动件，升降架滑动连接于横移架上，升降驱动件用于驱动升降架上下移动，升降架的下部连接有并排设置的多个砷化镓衬底架，砷化镓衬底架与升降架均通过弹簧连接，多个弹簧通过水平设置的连接板相固定，连接板上连接有多个用于震动连接板的震动鼓锤；本实用新型不仅提高了砷化镓衬底的清洗效率，且砷化镓衬底清洗干净彻底。