一种半导体质量检测装置及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111197547.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113640314B | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN113640314B | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | G01N21/95;G01R1/04;G01R31/26 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张文臣 | 申请（专利权）人 | 深圳市赛元微电子股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京专赢专利代理有限公司 | 代理人 | 陈进 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道8号中国地质大学产学研基地中地大楼B610 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明适用于半导体生产相关领域，提供了一种半导体质量检测装置及方法，所述装置包括上料带、转移机构、视觉检测设备和性能检测机构。上料带将半导体元器件传送至转移机构上，视觉检测设备对半导体元器件的外观进行检测之后，转移机构继续将半导体元器件传送至性能检测机构所在的位置，性能检测机构对半导体元器件的通电性能进行检测，经过两次质检，质检出外观不合格或者性能不合格的产品，将不合格件和合格件分拣到不同的盛放容器中。该装置能够连续自主的对抽检的样品进行质检，质检效率高，可以在与人工质检时间相同的情况下质检更多的样品，使得抽检数量与整批产品数量相匹配，达到统计学抽样调查的基准。 |
