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一种超硬耐高温Ta-C涂层的制备工艺

基本信息

申请号	CN202110296863.8	申请日	-
公开（公告）号	CN113061844A	公开（公告）日	2021-07-02
申请公布号	CN113061844A	申请公布日	2021-07-02
分类号	C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;C23C14/02	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	张心凤;夏正卫;李灿民;范洪跃	申请（专利权）人	安徽纯源镀膜科技有限公司
代理机构	合肥九道和专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	胡发丁
地址	230088 安徽省合肥市高新区永和路99号一天电气F厂房101-A区
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种超硬耐高温Ta‑C涂层的制备工艺，包括将工件置于真空腔室内，对真空腔室进行抽气处理，抽气处理后对真空腔室、纯离子镀膜源、工件中的一者或几者进行除杂处理，除杂处理后，采用溅射镀膜在工件表面依次制备种子层、金属过渡层、Ta‑C过渡层、Ta‑C交替层和Ta‑C主功能层，所述的种子层为Ni、Cr、NiCr、NiAl中的一者；金属过渡层为Ti、TiSi、TiAl、TiCr中的一者；制备Ta‑C过渡层时，工件连接的偏压值为T1的偏压；制备Ta‑C交替层时，工件交替连接偏压值为T2、T3的偏压，制备Ta‑C主功能层时，工件连接偏压值为T4的偏压，其中T1＞T2＞T3＞T4。本发明提供的上述方案，其制备的膜层性能优异，膜层超硬且耐高温。