一种超黑高性能Ti-DLC涂层的制备工艺专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种超黑高性能Ti-DLC涂层的制备工艺

基本信息

申请号	CN202110298324.8	申请日	-
公开（公告）号	CN113061845A	公开（公告）日	2021-07-02
申请公布号	CN113061845A	申请公布日	2021-07-02
分类号	C23C14/06;C23C14/34;C23C14/02;C23C14/14	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	张心凤;夏正卫;李灿民;范洪跃	申请（专利权）人	安徽纯源镀膜科技有限公司
代理机构	合肥九道和专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	胡发丁
地址	230088 安徽省合肥市高新区永和路99号一天电气F厂房101-A区
法律状态	-

摘要

本发明涉及一种超黑高性能Ti‑DLC涂层的制备工艺，包括将工件置于真空腔室内，对真空腔室进行抽气处理，抽气处理后对真空腔室和/或工件进行除杂处理，除杂处理后向真空腔室内充入Ar，采用中频电源孪生Ti靶在工件的表面制备打底层，打底层制备好后，向真空腔室内增加充入C₂H₂，在打底层上制备过渡层，制备过渡层的过程中按照需求调控过渡层制备参数进行变化，调控变化的过渡层制备参数包括Ar充入量、C₂H₂充入量、工件偏压、Ti靶材电压中的一者或几者；过渡层制备好后，保持各过渡层制备参数稳定继续镀膜，从而在过渡层上制备出稳定色层。本发明提供的上述方案，其制备的镀膜性能优异，DLC的L值低于30，可有效扩展应用范围。