一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置
基本信息
| 申请号 | CN202110771331.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113403589A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113403589A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | C23C14/32（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张心凤;夏正卫;刘洋;陈玉梅;范洪跃 | 申请（专利权）人 | 安徽纯源镀膜科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥九道和专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 胡发丁 |
| 地址 | 230088安徽省合肥市高新区永和路99号一天电气F厂房101-A区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于PIC镀膜设备的敲击杆装置，包括敲击杆，敲击杆的一端装配有用于引弧的触发头，敲击杆的另一端装配在转动杆的一端，敲击杆和转动杆呈夹角状布置，转动杆通过轴承座转动安装在敲击安装座上，敲击安装座上设置有用于调节转动杆进行转动的转动调节组件。本发明提供的方案，可有效解决敲击杆在敲击过程中松动、敲击不到位和粘靶的问题，且触发头不易脱落，避免触发头过快损耗，降低故障率，有效保证镀膜的稳定进行。 |
