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真空水气分离装置

基本信息

申请号 CN202220333950.6 申请日 -
公开（公告）号 CN216928532U 公开（公告）日 2022-07-08
申请公布号 CN216928532U 申请公布日 2022-07-08
分类号 H01L21/683（2006.01）I;B01D45/02（2006.01）I;B01D45/08（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 陈开鹰 申请（专利权）人 中环领先（徐州）半导体材料有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 211000江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种真空水气分离装置，包括真空箱体、抽真空接口、真空吸附接口和隔离板；抽真空接口设置在真空箱体侧壁上部，用于连接真空抽气管；真空吸附接口设置在真空箱体侧壁中部，用于连接带有吸附部件的真空管；所述隔离板设置在真空箱体内，所述隔离板上下间隔安装在抽真空接口与真空吸附接口之间的真空箱体侧壁上，所述隔离板一端为自由端；所述真空箱体和隔离板共同限定出连续“S”型气体通道；所述抽真空接口设置在远离最上方隔离板自由端的侧壁上；所述真空吸附接口设置在远离最下方隔离板自由端的侧壁上。本实用新型能够有效地防止在采用真空吸附硅片时，硅片表面的液体堵塞真空管，从而出现无法下片或掉片现象。