加料管、加料方法及晶体生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202210344856.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717646A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717646A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈俊宏 | 申请（专利权）人 | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种加料管、加料方法及晶体生长设备，加料管用于晶体生长设备，且包括的管体和分隔组件，管体限定出加料腔，加料腔包括多个沿管体的轴向依次布置的盛放腔，相邻两个盛放腔通过连通口连通，多个分隔组件沿管体的轴向间隔设置，每个分隔组件设于连通口处，且分隔组件具有遮挡状态和避让状态，在遮挡状态下，分隔组件遮挡连通口以使相邻两个盛放腔隔断，在避让状态下，分隔组件避让连通口以使相邻两个盛放腔连通。根据本发明的加料管，可以实现物料的多次添加，以有效减少单次投放量，从而减小物料投放对熔汤的冲击，避免熔汤飞溅。 |
