用于单面抛光机的机械手臂及具有其的单面抛光机
基本信息
| 申请号 | CN202220087373.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216940043U | 公开（公告）日 | 2022-07-12 |
| 申请公布号 | CN216940043U | 申请公布日 | 2022-07-12 |
| 分类号 | B24B29/02（2006.01）I;B24B41/04（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 邵晓东 | 申请（专利权）人 | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 221000江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于单面抛光机的机械手臂及具有其的单面抛光机，包括：机座，机座设于单面抛光机的机台；机臂壳，机臂壳的底部与机座可转动地相连，机臂壳的远离机座的一端设有抛光头，机臂壳内设有连接杆，连接杆的一端与机臂壳可转动地相连；气缸件，气缸件包括缸体和推杆，推杆可伸缩地设于缸体，缸体的下端与机座可转动地相连，推杆的自由端与连接杆的另一端通过螺纹连接；螺母，螺母与推杆的外周壁螺纹相连且适于与连接杆止挡配合，机臂壳的一侧侧壁设有检修口，检修口与螺母相对设置。根据本实用新型的用于单面抛光机的机械手臂，无需特制工具就可以对抛光头进行压力校正，操作方便，有利于保证对晶圆的抛光品质。 |
