加料管、加料方法和晶体生长设备
基本信息
| 申请号 | CN202210344847.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114717645A | 公开（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申请公布号 | CN114717645A | 申请公布日 | 2022-07-08 |
| 分类号 | C30B15/02（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈俊宏;高海棠 | 申请（专利权）人 | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种加料管、加料方法和晶体生长设备，加料管用于晶体生长设备，且包括管体和多个分隔件，管体限定出加料腔，加料腔包括多个沿管体的轴向依次布置的盛放腔，每个盛放腔的周壁形成有出料口，多个分隔件沿管体的轴向间隔设置，每个分隔件设于对应盛放腔，且分隔件可在遮挡位置和避让位置之间运动，在遮挡位置，分隔件位于对应出料口的上侧以遮挡对应出料口，在避让位置，分隔件的至少部分位于对应出料口的下侧以避让对应出料口。根据本发明的加料管，加料较为分散，有利于提升后续化料效率。 |
