加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法专利查询专利号|摘要-满商公司网

加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法

基本信息

申请号	CN202210301704.7	申请日	-
公开（公告）号	CN114686978A	公开（公告）日	2022-07-01
申请公布号	CN114686978A	申请公布日	2022-07-01
分类号	C30B27/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	陈俊宏	申请（专利权）人	中环领先（徐州）半导体材料有限公司
代理机构	北京清亦华知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	-
地址	221004江苏省徐州市经济技术开发区鑫芯路1号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种加料组件及具有其的单晶生长装置、加料方法，单晶生长装置包括：炉体、坩埚以及加料组件，炉体内限定出炉室，坩埚设于炉室内，加料组件适于向坩埚内补充原料，加料组件包括：加料筒、导料件以及调节件，加料筒内形成容纳原料的容纳腔，容纳腔的朝向坩埚一侧形成开口，导料件可移动地设于容纳腔内，导料件朝向开口的表面形成为导料面，导料面与开口的内周壁之间限定出出料口，导料件具有关闭出料口的展开状态以及打开出料口的收合状态，调节件适于驱动导料件在展开状态和收合状态之间切换，以调节出料口的大小。根据本发明的加料组件，可以根据原料的大小尺寸控制原料的下落速度，从而减小加料过程中造成的熔汤飞溅以及液面振动。